無(wú)油活塞真空泵常見(jiàn)應用領(lǐng)域： 1、低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2、在化學(xué)工業(yè)、醫藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
3、半導體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
4、除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿(mǎn)足要求；
5、用做一般無(wú)油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。
怎樣做好無(wú)油活塞真空泵的日常維護？
1、設備周?chē)h(huán)境應保持清潔、干燥，通風(fēng)良好。檢查冷卻水路是否暢通。
2、檢查各潤滑部位的潤滑油是否符合規定。
3、操作人員必須嚴格按操作規程進(jìn)行操作，巡回檢查發(fā)現問(wèn)題必須及時(shí)處理。
4、必要時(shí)可報告有關(guān)部門(mén)進(jìn)行狀態(tài)。
5、每班必須檢查各部緊固螺栓，不得有松動(dòng)現象，經(jīng)常檢查真空罐中的液位是否正常有效，并進(jìn)行必要緊固。
6、隨時(shí)檢查真空表、電流表的讀數是否正常。隨時(shí)注意觀(guān)察設備運轉有無(wú)異常聲響或振動(dòng)。
7、機殼外部清理，請在切斷電源的情況下，用干燥柔軟的抹布清理機殼外部的灰塵污垢，每月至少清理一次。
8、進(jìn)氣過(guò)濾消音器的清洗，過(guò)濾消聲器過(guò)濾棉的清洗很重要，它直接影響真空泵的流量和壽命，每月至少清洗一次，請將消聲器擰下，拆開(kāi)消聲器端蓋，取出過(guò)濾棉，用清水沖洗干凈，涼干，再安裝好使用。如果不能清洗干凈，請更換過(guò)濾棉。
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